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半导体集成电路制造业晶圆绿色工厂评价要求适用范围

2022/07/16135 作者:佚名
导读:本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产品实际生产过程的工厂进行评价,其他类型集成电路产品生产制造工厂也可参考使用。

本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产品实际生产过程的工厂进行评价,其他类型集成电路产品生产制造工厂也可参考使用。

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