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半导体集成电路制造业晶圆绿色工厂评价要求技术内容

2022/07/16117 作者：佚名
导读：本标准规定了半导体集成电路制造业　晶圆　绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序等。 2100433B

本标准规定了半导体集成电路制造业　晶圆　绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序等。 2100433B

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