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建设工程知识

复合型蒸发系统技术指标

2022/07/16138 作者：佚名
导读：极限真空度≤1x10-5 Pa ;6个电子束蒸发工位，2个舟型热蒸发工位；衬底采用红外加热，最高温度≥150C；支持样品尺寸：最大支持6英寸晶圆，可一次装载5片6英寸样品； 6英寸基片片内和同批次片间膜厚均匀性优于±5%。

极限真空度≤1x10-5 Pa ;6个电子束蒸发工位，2个舟型热蒸发工位；衬底采用红外加热，最高温度≥150C；支持样品尺寸：最大支持6英寸晶圆，可一次装载5片6英寸样品； 6英寸基片片内和同批次片间膜厚均匀性优于±5%。

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