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建设工程知识

复合型蒸发系统主要功能

2022/07/16108 作者：佚名
导读：具备电子束蒸发和电阻加热热蒸发两种蒸发模式，具有原位离子束清洗功能、衬底加热等功能，用于金属（Ti、Au、Ag、Al、Mo）和非金属（SiO）薄膜生长。 2100433B

具备电子束蒸发和电阻加热热蒸发两种蒸发模式，具有原位离子束清洗功能、衬底加热等功能，用于金属（Ti、Au、Ag、Al、Mo）和非金属（SiO）薄膜生长。 2100433B

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