基本上所有的金属及非金属材料都可以采用PVD涂层的方式进行除层，它可以通过靶材或蒸发源等材料源直接沉积而获得源物质的涂层材料，也可以在此基础上通人其他的反应性气体，并通过反应沉积获得包含源物质成分和反应气体成分的化合物。反应溅射沉积的一个突出问题是“靶材中毒”，但研究表明，当靶材表面原子部分生成复合物，即处于“转变区域”类型时所制备的涂层拥有最佳的性能。目前，硬质合金工具、模具表面的PVD硬质涂层基本上都采用的反应沉积方法获得，根据涂层成分大致可分为以下几类：(1)金属氮化物； (2) 金属碳化物； (3) 金属氧化物；(4) 金属硼化物；(5)其他金属合金及化合物。
