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在涂层工艺中，主要的工艺参数如温度、压力、反应气体浓度以及气体总流量都需要精确的控制和监测。涂层沉积发生的温度是决定性的因素，沉积温度必须要保证反应在硬质合金基体表面上而不会在气相中发生，同时获得一个适当的显微结构。各工艺参数如基体温度，气体流速，反应器几何形状，气体黏度都会影响边界层的传输形式，这些也影响了沉积涂层的结构和组成成分。工艺过程监测方法被用来控制气体纯度和浓度，出口气体组分，沉积气氛的温度等，监测方式一般分为物理探测和光学仪表分析。 2100433B
