图1为《一种提高LED亮度的蓝宝石图形化衬底制备方法》实施例在蓝宝石衬底表面生长的氧化锌薄膜示意图。
图2为该发明实施例在蓝宝石衬底生氧化锌表面涂上光刻胶的示意图。
图3为该发明实施例中表面光刻胶被曝光后的示意图。
图4为该发明实施例被HF热腐蚀后的示意图。
图5为该发明实施例中经过除胶液处理后的氧化锌表面示意图。
图6为该发明实施例在氧化锌表面生长的氧化锌纳米棒阵列示意图。
图7为该发明实施例干法刻蚀后的蓝宝石衬底图形示意图。
图8为该发明实施例干法刻蚀后的蓝宝石衬底图形粗糙度与光强关系图。
附图标记：1-蓝宝石衬底；2-氧化锌薄膜；3-紫外正向光刻胶；4-氧化锌纳米棒阵列；5-蓝宝石衬底图形。
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