《一种提高LED亮度的蓝宝石图形化衬底制备方法》是黄山博蓝特半导体科技有限公司于2017年7月26日申请的发明专利，该专利申请号为2017106150006，公布号为CN107403857A，专利公布日为2017年11月28日，发明人是刘建哲、褚君尉、祝小林、徐良。
《一种提高LED亮度的蓝宝石图形化衬底制备方法》步骤如下：首先在经过表面处理后的蓝宝石衬底表面生长一层薄膜，接着利用光刻技术对薄膜进行曝光进行图形定义，再对薄膜进行热腐蚀，然后利用除胶液去除薄膜上的光刻胶，在剩余薄膜的表面生长出纳米棒阵列，最后采用等离子体对生长了纳米棒阵列的衬底进行干法刻蚀后就得到了图形化的衬底。该发明在衬底上形成具有一定规律分布的图形，可以通过控制薄膜的厚度来控制衬底图形的宽度，同时可以通过控制单位面积内纳米棒的密集程度来控制衬底图形的高度和表面形貌，从而有效的降低外延薄膜的位错和缺陷密度，增加出光率，提高LED亮度，有利于增强LED的光电特性和延长使用寿命。
2020年7月17日，《一种提高LED亮度的蓝宝石图形化衬底制备方法》获得安徽省第七届专利奖优秀奖。
（概述图为《一种提高LED亮度的蓝宝石图形化衬底制备方法》的摘要附图）
