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低压法简介

2022/07/16210 作者：佚名
导读：低压法，全称“低压气相沉积法”。在低压、高温条件下，由含碳气体沉积成金刚石的方法。不需要复杂的高压高温设备，费用低。最有成效的是用化学气相沉积法生长金刚石薄膜。金刚石在亚稳态形成，采用外延法生长金刚石。化学气相法和物理气相沉积法所能生产的是多晶金刚石薄膜。

低压法，全称“低压气相沉积法”。在低压、高温条件下，由含碳气体沉积成金刚石的方法。不需要复杂的高压高温设备，费用低。最有成效的是用化学气相沉积法生长金刚石薄膜。金刚石在亚稳态形成，采用外延法生长金刚石。化学气相法和物理气相沉积法所能生产的是多晶金刚石薄膜。

*文章为作者独立观点，不代表造价通立场，除来源是“造价通”外。
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