本项目研究了一种可用于复合材料在线健康监测的易拉伸、可折叠、抗损坏的新型柔性传感器薄膜。首先，提出了一种采用双步迁移工艺的硅基柔性传感器薄膜以及解决大变形测量问题的多段弓形交联导体结构，解决了单段弓形结构所能承受的最大变形量过小的问题。建立了多段弓形交联导体控制方程，给出了硅基柔性传感器薄膜的整体设计方案。其次，设计了一种集成振动与温度测量的硅基微型传感器芯片，并建立了传感器芯片综合性能的优化模型，该模型兼顾了结构动态响应、系统测量带宽以及测试灵敏度等性能。然后，研究传感器薄膜在贴附于复合材料曲面时的结构封装力学问题，分析了结合界面的应力分布，并研究了传感器芯片的阵列密度和芯片长/高比对结合面应力分布的影响，在此基础上，获得传感器薄膜的极限弯曲曲率和最大延伸率。最后，完成了传感器单元及硅基柔性传感器薄膜的制作，实验研究了集成传感器芯片的动态性能和柔性传感器薄膜的损伤问题。实验结果显示，所制作的传感器芯片固有频率、线性度达到设计要求。本项目的研究成果为复合材料的在线健康监测提供了一种新型的测试技术。