本项目面向电子封装工艺COG的弹性凸点批量制备的需求,研究了基于静电雾化的微颗粒操作方法和批量制备技术。具体研究了:1)导电颗粒在液体介质中混合和分散过程,以及该过程对雾化结果的影响;2)导电颗粒固液两相流在针头或喷嘴端口处液体的流体行为,以及在外加电场作用下的锥射流模型,以及射流破碎,分裂,液滴飞行的关键问题;3)研究了静电电压,溶液流量,电极间距,液体导电特性,喷嘴几何结构及复合能场(如静电场,流场)与雾化液滴的平均粒径,分布的均匀性,导电颗粒排布的耦合关系,建立精确排布导电颗粒的参数化控制模型; 4)通过对运动平台的协调操控,可实现雾化效果宏观层面的可控。可通过调节电压,流量,针头尺寸等参数,实现对液滴的粒径和雾化面积的控制。在一定的尺度范围内,实现了微颗粒的调节与操控,并在此基础上搭建了弹性凸点制备静电喷雾测试平台,验证该工艺和方法的有效性。