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手套箱水氧<1ppm 集成风机流量>90m3/h 过滤器:规格 0.2 微米 干泵可手动或通过PLC启动,流量≥12m3/h 冷阱装置可以达到-100℃ 旋涂仪分辨率小于0.5RPM,重复性误差要小于±0.5RPM 蒸发系统极抽气时间:大气压~5*10-4Pa小于30min(干燥氮气充入后) 蒸发:电阻式蒸发电极(4对)配备4套数显蒸发电源 真空系统是由分子泵机械泵 分子泵分子泵(抽速大于620L); 膜厚仪为石英晶振,配原装水冷探头二套。