感光器工作原理图 CCD英文全称：Charge Coupled Device。这两种感光器件与我们日常使用的半导体集成电路相似，在一片硅晶片集成了几千到几万个光电三极管，这些光电三极管分为三列，分别用红绿蓝色的滤色镜罩住，从而实现彩色扫描。光电三极管在受到光线照射时可以产生电流，经放大后输出。

该类感光器件近年性能提高很大，其高端产品的性能已经接近低档的光电倍增管，但由于数千个光电三极管的距离很近（微米级），并且各三极管之间的绝缘是依靠半导体PN结来的绝缘。隔离电阻较小，因此，在各光电三极管之间存在着明显的漏电现像，使各感光单元的信号产生相互干扰，降低了扫描仪的实际清晰度。

为了改善这一情况，现在可以采用硅氧化物隔离技术，也就是说，在器件加工过程中，将各个光电三极管之间的半导体单晶硅用SiO2(二氧化硅)替代，由于SiO2是非常好的绝缘材料，几乎杜绝了光电三极管之间的漏电现像，因而在两台扫描仪性能指标相同的情况下，使用硅氧化物隔离CCD的扫描仪的实际清晰度将有一个质的飞跃。

不过，这种技术产品的生产成本要比半导体隔离技术产品的生产成本高出几倍，因此，目前只能用在5000元以上的专业级扫描仪之中。而目前市场上的几乎所有家用和办公用扫描仪，都是采用半导体隔离的CCD，性能不可能不受到影响。