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①放大倍率:2-1000K;②电子束能量强度可调200v-30Kv;③样品台五轴自动旋转;④内部尺寸:230mm(内部直径)148mm门宽;⑤分辨率:3nm(30kv),8nm(3kv)⑥包含电子束曝光系统(EBL)⑦含背散射,二次电子。