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电子束读写成像系统主要功能

2022/07/16123 作者:佚名
导读:固体材料微观表面形貌观测;微纳图形读写与刻蚀。该电子束读写成像系统可以满足不同形状与尺寸的异质结微纳器件的读写成像,有效辅助异质结微纳器件的制备。

固体材料微观表面形貌观测;微纳图形读写与刻蚀。该电子束读写成像系统可以满足不同形状与尺寸的异质结微纳器件的读写成像,有效辅助异质结微纳器件的制备。

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