产生真空的过程称为抽气或排气。用物理方法产生真空的工具通称真空泵，有一些泵能使气体压力从1个大气压开始变小，另一些泵却只能从较低的压力抽到更低的压力，它要求前一种泵首先把气体压力从760毫米汞高递减为一个规定数值，然后开始工作。前者就被称为“前级泵”，后者称为“次级泵”，次级泵作用开始所要求的气压称为“予备真空”。
在规定的气压下单位时间抽出的气体体积称为抽气速率。泵在工作了足够时间以后能达到的最低压力称为极限真空。
真空设备从最简单的实验室的喷射式真空水泵到抽高真空的蒸汽扩散泵，种类很多，但在作用原理和构造上往往类似于压缩机，这是因为压缩机出口在产生压缩气体的同时，对于其进口而言，实质上就是吸气抽真空过程。一般将真空泵分为二大类，即机械泵和扩散泵。
