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超景深三维扫描仪技术指标

2022/07/16105 作者:佚名
导读:载物台移动量:15mm 3、分解度:0.05μm /脉冲 4、定位精度:6μm 5、重复定位精度:± 0.5 μm。

载物台移动量:15mm 3、分解度:0.05μm /脉冲 4、定位精度:6μm 5、重复定位精度:± 0.5 μm。

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