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1、放大倍数:物镜20倍、50倍、100倍; 2、分辨率:XY方向0.12μm ,Z方向0.01μm; 3、XY测量距离:20倍是10μm,50倍是4μm,100倍是2μm; 4、Z测量距离:步长1μm。