精密与超精密加工技术是制造业水平的重要标志,是先进制造技术的基础和关键。而超精密液体静压导轨是超精密加工技术广泛应用的共用关键基础功能模块。由于目前对超精密液体静压导轨多场耦合作用机理和承载特性认识不足,严重制约超精密加工机床的设计和应用精度,为此本申请课题拟在已有工作基础上开展以下研究工作:超精密液体静压导轨系统的机、液、热多物理场复杂非线性耦合机理研究;超精密液体静压导轨系统综合性能指标分析及评价体系研究;超精密液体静压导轨多物理场复杂非线性耦合系统综合性能动态优化设计理论研究;超精密液体静压导轨系统的综合性能动态优化设计软件研究。通过理论分析、计算机模拟、实验测试相结合的方法揭示多场耦合作用下超精密液体静压导轨承载机理,建立导轨承载特性评价体系,提出一种高效可靠的超精密液体静压导轨综合动态优化设计方法并开发出相应的设计平台。