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反应腔尺寸Φ5500*500mm, 反应腔升降行程400mm,工作台尺寸240*420mm,工作台升降行程≧100mm,气压调节范围1000-10000Pa,热丝加热功率0-33KW,直流偏压0-200V,直流偏流0-20A,工作温度300-1000℃,总功率500KW,反应腔极限真空度≦5Pa,保压能力≦30Pa/hrs,四路流量计配气。