低温等离子体由于其独特的电子、离子能量分布特性、高化学活性的广泛应用而备受关注,其应用涉及微电子工业,各坚硬、耐腐蚀、耐摩擦材料的制备,纳米材料的制备,聚合物以及生物材料的表面改性等各方面;由于等离子体参数分布的宽泛和复杂性,使深入研究遭遇了众多的困难,在等离子体与材料表面的复杂相互作用方面,由于其可同时改变等离子体和材料表面的状态而影响等离子体的应用。2007年美国国家研究委员会发布了《Plasma science:advance knowledge in national interest》的前瞻性报告,2008年美国能源部发布了《Low Temperature Plasma Science》报告,在我国,国力的增强和社会的进步,推动了低温等离子体学科群的建设,研究人员逐年递增,人才队伍日臻合理,至此,召开低温等离子体物理及应用研讨会,将对我国低温等离子体物理及应用的健康发展提供借鉴。