俄歇电子在样品内产生，携带有样品原子的特征信息， 在逸出表面之前，若和样品原子发生了各种非弹性散射过程(包括单电子激发和电离，等离子激发, 声子激发等)而改变了原有动能值，则其携带的信息将丢失。由此，只有那些在逸出表面前未发生非弹性碰撞的电子才是有意义的 。
由于常用的俄歇电子的能量均在 2keV 以下,因此大致上只有在表面 2nm 深度范围内发射的俄歇电子才能不改变原携带的信息而逸出体外。这就是俄歇谱仪之所以表面灵敏的原因。值得指出的是，以上讨论也适用其它过程产生的电子，如 X 光电子谱仪的情况。
