准分子激光治疗仪般由准分子主机、笔记本工作站、脚踏、治疗床等组成，其中主机包括三大部分：光路部分、气路部分及控制部分。
光路部分如图1所示，由激光腔和用于激光传输的各种功能不同的外光路镜片组成。
图1 准分子激光治疗仪结构图
激光由激光腔发射出后经过各级传输镜片照射到治疗区域。能量计E1主要用于检测激光腔输出能量大小，激光匀质化镜主要是将腔内激光加工处理使激光光束呈高斯分布。反射镜，就是反射激光的镜片，主要用于定向传导。聚焦镜1用于聚焦激光光束。第一个小孔主要是将聚焦来的激光光束形成0.95mm的光点，第二个小孔用于限制能量的强度。E4为能量计，检测及调整术中激光能量大小。激光光束经过扫描器在X、Y两方向的反射后，经最后的聚焦镜2聚焦到人治疗部位。另外，挡光器(光闸)在光路中主要用于设备自检或激光预热时候对激光进行遮挡，防止激光意外发射。指示光的光点与治疗激光重合，指示治疗激光的位置。
