微小非球面纳米抛光一直是一个未能解决的难题。传统的弹性或粘弹性固态抛光工具难以进入微小加工区；而采用高速射流加工，效率低，且由于空气扰动而导致抛光点偏大。针对这些问题，本课题提出一种基于负压吸流空穴效应的微细磨料流体纳米抛光新方法。将负压环境取代常压环境，利用负压产生的压差从微小吸嘴中吸出微细磨料并对加工面进行微切削，同时负压空穴效应产生微射流增强流体的冲蚀能力，进而获得超光滑非球面。配制性能优良的微细磨料流体，研制微小非球面抛光装置，进行工艺实验研究。探讨基于压差吸流空穴效应的纳米抛光机理，建立相应的动力学模型和材料去除模型，优化微量抛光路径与工艺参数，以实现微小非球面的纳米抛光。本项目的开展对于提高和发展我国微光学透镜及模具制造水平具有现实意义。
