噪音水平：ICON Head<30 pm RMS, FastScan Head<40 pm RMS扫描范围： ICON Head 90μm×90μm×10μm, FastScan Head 35μm×35μm×3μm附加功能1.AFM形貌成像（包含接触，轻敲，峰值力轻敲模式）2.MFM磁力显微镜3.EFM静电力显微镜4.KPFM表面电势显微镜5.LFM摩擦力显微镜6.TUNA遂穿电流模式7.PFM压电响应显微镜（含附加高压模块）8.STM扫描隧道显微镜9.H/C MODEL升降温模块10.PF-QNM定量纳米力学11.RAMP力曲线12.FORCE-VOLUME力曲线阵列13.液下成像14.EC-AFM电化学模块（包含升温模块）15.SECM扫描电化学显微镜16.Photoconductive AFM光电流检测17.纳米刻蚀功能。
