《多晶硅微机械构件材料力学行为及微机械粘附问题研究》是清华大学丁建宁发表的论文，由温诗铸指导。
副题名
外文题名
Studies on mechanical behaviors of microfabricated polysilicon thin films and sticking problem in MEMS
论文作者
丁建宁著
导师
温诗铸院士指导
学科专业
机械设计与理论
学位级别
d 2001n
学位授予单位
清华大学
学位授予时间
2001
关键词
微机械 多晶硅 微型机械
馆藏号
TH122
唯一标识符
108.ndlc.2.1100009031010001/T3F24.012002678601
馆藏目录
2002\TH122\97
