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多晶硅超声波清洗要结构特点:
1、采用三套独立的电脑控制机械臂自动化作业
2、采用第三代最新技术,全面完善的防酸防腐措施,保护到机器每一个角落
3、最新全自动补液技术
4、独特的硅片干燥前处理技术,保证硅片干燥不留任何水痕
5、成熟的硅片干燥工艺,多种先进技术集于一身
6、彩色大屏幕人机界面操作,方便参数设置多工艺方式转换