为了提高加工效率，微切削机床主轴的转速非常快。为满足扭矩要求，通常采用电主轴和混合角接触轴承。微切削精密机床的工作台一般是由直线电机驱动的，能提供较大的加速度。微切削精密机床的刚度好，振动小，而且大都带有各种传感器和执行器。但是由于其尺寸较大，对周围环境的控制要求较严格，使得加工微小零件的成本较高。由于微小机械产品的加工特征尺寸很小，研究人员正尝试开发微小机床来加工微小零件。微小机床的定位精度可达到纳米尺度，加工精度为亚微米。
使用CNC加工中心可实现2D、2.5D简单特征到复杂3D曲面零件的微加工，通过使用此方法加工出的微小模具，可达到批量生产的目的。
