绪论

第一章 微机械理论基础

1.1 微机械学

1.2 微动力学

1.3 微电子学

1.4 微光学

1.5 微流体力学

1.6 微热力学

1.7 微摩擦学

1.8 纳米生物学

1.9 分子装配技术

第二章 微机械材料与微结构

2.1 引言

2.2 微机械材料

2.2.1 硅材料

2.2.2 形状记忆材料

2.2.3 压电陶瓷/电致伸缩材料

2.2.4 超磁致伸缩材料

2.2.5 电流变体

2.2.6 磁流变体

2.2.7 有机聚合物材料

2.3 微结构与微型智能结构

2.3.1 主动控制结构类

2.3.2 被动阻尼结构类

第三章 微细加工技术

3.1 引言

3.2 硅微细加工技术

3.2.1 薄膜制备技术

3.2.2 微机械器件薄膜制备技术

3.3 光刻技术

3.3.1 光刻掩模制作工艺

3.3.2 曝光技术

3.3.3 刻蚀技术

3.3.4 表面薄膜的化学刻蚀加工

3.4 牺牲层技术

3.5 外延技术

3.6 高能束刻蚀技术

3.6.1 离子束刻蚀

3.6.2 等离子体刻蚀

3.6.3 激光刻蚀

3.7 LIGA技术

3.8 微细立体光刻技术

3.9 精密放电加工技术与超精密机械加工技术

3.10 微机械装配与集成

3.10.1 堆装技术

3.10.2 封装技术

3.10.3 集成制造技术

第四章 准分子激光微细加工技术

4.1 引言

4.2 准分子激光器及其工作原理

4.2.1 准分子与准分子激光器

4.2.2 准分子激光器的泵浦方式

4.3 直写微细加工的准分子激光光束特性

4.3.1 直写微细加工

4.3.2 光束特性

4.4 准分子激光直写微细加工

4.4.1 聚焦准分子激光直接刻蚀硅材料

4.4.2 准分子激光辅助刻蚀硅材料

4.4.3 准分子激光直写微细加工

4.5 准分子激光直写微细加工系统

4.5.1 系统构成与工作原理

4.5.2 加工控制与监测

4.5.3 加工光斑

4.5.4 扫描运动

4.5.5 声光调制器

4.5.6 直写微细加工及其CAD/CAM

4.5.7 系统的加工精度分析

4.6 准分子激光直写刻蚀基本规律

4.6.1 微加工材料表面的显微形貌

4.6.2 准分子激光对于硅材料的直接刻蚀规律

4.6.3 单脉冲刻蚀情况.

4.6.4 热量与热影响区

4.6.5 刻蚀深度的变化规律

4.6.6 由冲击破坏现象引起的受力情况分析

4.7 光束质量的改善措施

第五章 微检测技术

5.1 引言

5.2 现代微观检测方法与设备

5.2.1 扫描探针显微镜

5.2.2 干涉与测量

5.3 微机械结构的几何尺寸测量

5.3.1 测量方法的分析与选择

5.3.2 基于光切法的微结构尺寸测量

5.3.3 基于光切法的图像测量系统设计

5.3.4 微结构件几何尺寸测量示例

5.4 物理量测量

5.4.1 弹性模量测量

5.4.2 残余应力测量

5.4.3 测量与结果

第六章 微传感器

6.1 引言

6.2 电量检测传感器

6.2.1 压电式传感器

6.2.2 电容式传感器

6.2.3 压阻式传感器

6.3 机械量微传感器

6.3.1 结构弹性变形微传感器

6.3.2 机械振动结构徽传感器

6.3.3 振动体激励微传感器

6.3.4 谐振集成微传感器

……

第七章 微致动器及其它微器件

第八章 典型微型电子机械系统与微机器人