第1章 微型机械与微细加工概论/1

1.1 微机械及其特点/1

1.2 微细加工技术的概念及其特点/4

1.3 微细加工技术的分类/6

1.4 微细加工技术的应用/9

1.5 发展微细加工技术的意义/15

参考文献/17

第2章 微机械与微细加工理论基础/18

2.1 微机械学/18

2.2 微电子学/33

2.3 微光学/37

2.4 分子装配技术/39

2.5 微细加工机理/41

参考文献/4l

第3章 微细切削加工技术/44

3.1 微切削加工机理与物理特性/44

3.2 微细车削加工技术/50

3.3 微细铣削加工技术/58

3.4 微细钻削加工技术/65

3.5 微细冲压加工/69

3.6 微细磨料喷射加工/7l

3.7 微细切削加工工作环境/74

参考文献/75

第4章 微细电加工技术/77

4.1 微细电加工技术概述/77

4.2 微细电火花加工的特点与实现条件/79

4.3 微细电极的在线制作与检测/83

4.4 微细电火花加工中的脉冲电源与控制系统/90

4.5 微细电火花加工装备/95

4.6 微细电火花铣削加工技术/100

4.7 微细电火花线切割加工技术/108

4.8 微细电化学加工技术/111

参考文献/117

第5章 高能束流微细特种加工技术/118

5.1 电子束微细加工技术/118

5.2 离子束微细加工技术/126

5.3 激光微细加工技术/136

参考文献/150

第6章 半导体材料的微细加工技术/152

6.1 集成电路的工艺基础一一平面硅工艺/152

6.2 薄膜成形技术/154

6.3 掺杂技术/159

6.4 光刻技术/161

6.5 硅的体微加工技术/163

6.6 硅的表面微加工技术/171

6.7 键合技术/173

6.8