超声成像是人体健康监测、疾病诊断与治疗的重要手段。本项目以实现人体可穿戴的超声换能器阵列为研究目标，开展基于压电陶瓷的柔性可延展超声换能器的设计与制备技术研究，分析柔性环境下超声换能器的变形特性。项目通过可延展蛇形互连导线结构设计了基于微米厚度压电薄膜的柔性超声换能器阵列，发展了基于微纳制备工艺和印章转印的制备方法，实现柔性超声换能器原理器件。针对器件制备成功率低的问题，总结分析了材料、制备工艺的主要原因，揭示转印过程中印章剥离速度和印章变形对转印效果的影响机理，并提出了基于厚块状压电陶瓷的上下互连电极非共面结构的超声换能器修正设计方案。
