激光共焦扫描显微镜技术指标

2022/07/16159 作者：佚名

导读：光学部分：光学变焦优于：1X~6X；物镜放大倍数：至少包含5X,10X,20X,50X，及不小于100X以上，总放大倍数100~17000倍；长工作距离物镜50X：工作距离10mm以上；物镜转盘：至少6个物镜装载孔，测量方便；最高倍物镜的数值孔径：不小于0.95；光源波长：405~410 。测量精度指标：XY轴：分辨率优于120nm，重复精度优于20nm（3σ）；Z轴：分辨率优于10nm，重复精度

光学部分：光学变焦优于：1X~6X；物镜放大倍数：至少包含5X,10X,20X,50X，及不小于100X以上，总放大倍数100~17000倍；长工作距离物镜50X：工作距离10mm以上；物镜转盘：至少6个物镜装载孔，测量方便；最高倍物镜的数值孔径：不小于0.95；光源波长：405~410 。测量精度指标：XY轴：分辨率优于120nm，重复精度优于20nm（3σ）；Z轴：分辨率优于10nm，重复精度优于20nm（1σ），最大可容许测量高度不小于5mm。