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热解涂层石墨管石墨管涂层工艺

2022/07/16103 作者:佚名
导读:石墨管按照装护模具设计准确装入炉内。闭合护盖,起动真空机械泵排气,使炉内真空度低于1毫米汞柱后开始升温。约1小时左右升到所需的沉积温度,然后按下列比例通入氮气和丙烷气:感应护为2:1,碳管炉为5:1。要保证气体均匀地通过石墨管内外表面。沉积时间的长短根据涂层厚度要求来确定。在整个沉积时间内机械泵一直处于工作状态,在源源通入新鲜丙烷气的同时,把热解后的气体产物经除尘器排出炉外。当达到所需沉积时间时,

石墨管按照装护模具设计准确装入炉内。闭合护盖,起动真空机械泵排气,使炉内真空度低于1毫米汞柱后开始升温。约1小时左右升到所需的沉积温度,然后按下列比例通入氮气和丙烷气:感应护为2:1,碳管炉为5:1。要保证气体均匀地通过石墨管内外表面。沉积时间的长短根据涂层厚度要求来确定。在整个沉积时间内机械泵一直处于工作状态,在源源通入新鲜丙烷气的同时,把热解后的气体产物经除尘器排出炉外。当达到所需沉积时间时,停止原料气体供给,停电,关闭机械泵阀门停止排气。但炉内仍保持负压,待自然冷却后,出炉。

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