前言
**章精密仪器概论
**节概述
第二节精密仪器的重要性和展望
第三节精密仪器的设计要求和过程
作业与思考题
第二章仪器的精度理论
**节精度理论的基本概念
第二节误差的处理和评定
第三节仪器的精度分析
第四节仪器的精度设计
作业与思考题
第三章精密仪器总体设计
**节总体设计的相关基础
第二节总体设计内容
第三节 总体设计举例
作业与思考题
第四章机械系统设计
**节机构设计基础
第二节机械传动机构设计
第三节导向机构设计
第四节微位移机构设计
作业与思考题
第五章光学系统设计
**节概述 一
第二节光学基本理论
第三节典型光学元件及成像理论
第四节典型光学系统
作业与思考题 一
第六章伺服系统设计
**节概述
第二节开环伺服控制系统设计
第三节 闭环伺服控制系统设计
作业与思考题
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**节 电路系统组成与设计要求
第二节 电路系统硬件设计
第三节 电路系统软件设计
第四节 电路系统抗干扰及可靠性设计
作业与思考题
第八章。精密仪器设计实例
**节激光干涉测长仪设计
第二节便携式近红外光谱仪器设计
作业与思考题
实验部分
实验一测量显微镜结构分析设计
实验二精密工作台控制系统设计
实验三精密工作台控制计算机系统设计
实验四单色仪光栅扫描计算机控制系统设计
参考文献
