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薄膜集成电路薄膜混合电路

2022/07/16108 作者:佚名
导读:薄膜混合电路(HIC)是微电子技术的一个方面,微电子技术主要是微小型电子元件器件组成的电子系统。主要依靠特定的工艺在单独的基片之上(或之内)形成无源网络并互连有源器件,从而构成的微型电子电路。薄膜电路以其元件参数范围宽、精度高、稳定性能好、温度频率特性好,并且集成度较高、尺寸较小,但工艺设备昂,生产成本高。它与半导体集成电路相互补充、相互渗透,已成为集成电路的一个重要组成部分,广泛应用于低频微波电

薄膜混合电路(HIC)是微电子技术的一个方面,微电子技术主要是微小型电子元件器件组成的电子系统。主要依靠特定的工艺在单独的基片之上(或之内)形成无源网络并互连有源器件,从而构成的微型电子电路。薄膜电路以其元件参数范围宽、精度高、稳定性能好、温度频率特性好,并且集成度较高、尺寸较小,但工艺设备昂,生产成本高。它与半导体集成电路相互补充、相互渗透,已成为集成电路的一个重要组成部分,广泛应用于低频微波电路等众多领域,对电子设备的微型化起到了重要的推动作用。

薄膜混合集成电路与厚膜混合集成电路相比较,其薄膜混合电路的特点是所制作的元件参数范围宽、精度高、温度频率特性好,可以工作到毫米微波段。并且集成度较高、尺寸较小。但是所用工艺设备比较昂贵、生产成本比较高。

薄膜混合集成电路适用于各种电路,特别是要求精度高、稳定性能好的模拟电路。与其他集成电路相比,它更适合于微波电路。

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