静电吸附是用于临时吸附材料的一种特殊工艺，ECM系列静电吸附系统可以根据客户需要提供高达60KV静电电压用于各种场合。

ECM静电吸附系统采用高频开关技术提供三大优势。首先，能够根据所设定的电压实现稳定的电压输出；其次，输入电压的波动将不会影响输出电压波动；最后，周边环境的变化，负载的变化，特别是在最大临界负载变化将不会影响输出电压的稳定性。

ECM静电吸附系统采用防电弧技术，很重要的优点可以保证人身和设备使用安全,并提高设备的稳定性，延长使用寿命。对于静电吸附系统，静电产生电极通常被连接到高达几万伏的电压，静电产生电极周围会发生电晕现象，空气被电离，在电场的作用下，电荷移动至目标物体上。此时目标物体所带有电荷的极性依赖于所产生高压相对于地极的极性。

一般而言，静电产生电极越靠近地极，所产生的电流也将越大。没有防电弧电路，有可能会导致空气被击穿，空气变成导体或者在静电产生电极和地极之间形成蓝弧。一旦发生电弧，输出电压将被中断，静电电荷将没有了，静电吸附也就不存在了。而采用防电弧设计，则可以阻止电弧的发生。保证静电电压输出的连续稳定和可靠。当静电产生电极与地极之间的距离很近时，由于采用了防电弧设计，输出电流将被最小化，阻止了电弧的发生，且静电电压依然存在，防止静电吸附中断。