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钛泵可分为二极型和三极型，三极型可提高对氩（Ar）的抽速。二极型钛泵的结构如图《钛泵结构原理》所示，阳极A由许多个厚0.1~0.3mm，直径为12~40mm的不锈钢薄壁圆筒构成，在阳极的两端加有1~3mm厚的钛阴极K。阳极筒的轴线与阴极面垂直，二者之间加3~7KV的电压，阳极筒的轴向加1000~3000高斯的均匀磁场。
钛泵可分为二极型和三极型，三极型可提高对氩（Ar）的抽速。二极型钛泵的结构如图《钛泵结构原理》所示，阳极A由许多个厚0.1~0.3mm，直径为12~40mm的不锈钢薄壁圆筒构成，在阳极的两端加有1~3mm厚的钛阴极K。阳极筒的轴线与阴极面垂直，二者之间加3~7KV的电压，阳极筒的轴向加1000~3000高斯的均匀磁场。 
