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高真空镀膜仪技术指标

2022/07/16180 作者:佚名
导读:1)极限真空度:≤2×10-6mbar;2)镀膜厚度:1-100nm;3)检测精度0.1nm;4)镀膜种类:碳和金属。

1)极限真空度:≤2×10-6mbar;2)镀膜厚度:1-100nm;3)检测精度0.1nm;4)镀膜种类:碳和金属。

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