1678年R.胡克提出气体压强是大量气体分子与器壁碰撞的结果。1738年D.伯努利据此导出了压强公式,解释了玻意耳定律。1744年M.罗蒙诺索夫提出热是分子运动的表现,这是气体动理论的萌芽时期。
19世纪中叶气体动理论有了重大发展,它的奠基者是R.克劳修斯、J.麦克斯韦、L.玻耳兹曼。1858年克劳修斯提出气体分子平均自由程的概念并导出相关公式。1860年麦克斯韦指出,气体分子的频繁碰撞并未使它们的速度趋于一致,而是达到稳定的分布,导出了平衡态气体分子的速率分布和速度分布。后来,他又建立了输运过程的数学理论。1868年玻耳兹曼在麦克斯韦分布中引进重力场。70年代玻耳兹曼引入非平衡态的分布函数,用它定义一个H函数,证明在平衡态H达到最小(H定理),进而揭示了熵的统计意义。他还完成了输运过程的数学理论 。此后,H.洛伦兹把输运过程的数学理论用到金属中的电子,得到重要结果。