第1章 洁净室的检测类别与项目
1.1 洁净室检测的类别
1.2 洁净室的竣工验收
1.2.1 竣工验收的外观检查
1.2.2 竣工验收的调试工作
1.2.3 竣工验收的检测项目
1.2.4 竣工验收所需文件
1.3 洁净室综合性能评价
1.3.1 ISO-14644 所规定的检测项目
1.3.2 NEBB所规定的检测项目
1.3.3 国内相关标准所规定的测试项目
1.4 洁净室的性能监测
1.4.1 国际标准 ISO 14644-2的规定
1.4.2 国家标准 GB 50073-2001关于监测的规定
1.5 洁净室测试时所处的状态2100433B
