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1.光源:自动控制,钨丝阴极,预对中灯丝;2.聚焦:具有手动及自动聚焦功能;3.分辨率 :5.0nm @30kV SE ;4.放大倍数:20x – 150,000x; 5.加速电压:1kv - 30kv(1kv步长,且多档可选);6.磁透镜系统:双聚光镜;物镜光阑: 4位可移动,摇摆对中扫描光栅电位移及旋转: /-50um ,0-360°。