1972年，日本荏原（EBARA）公司和日本原子力研究所（JAERI）合作进行电子束烟气脱硫技术的研究。1974年在藤泽中央研究所建成处理量为1000m³/h的小型中试厂，1978年在九州八幡钢厂建成处理10,000m³/h烧结炉烟气的示范厂，初步证明电子束法的应用前景。在此之后，美国、德国、波兰和中国等世界各国的科学家相继对此技术开展大量的机理研究，并分别在美国印第安纳波利斯、德国卡尔斯鲁厄、波兰卡维真以及日本新名古屋等地建立了处理烟气量为12,000~20,000m³/h的中试装置，其试验结果均证实了电子束法的商用可行性。

在取得了令人满意的中试结果后，1993年，波兰在国际原子能机构的援助下，完成了10万千瓦发电机组烟气净化装置的设计，其设计的SO₂和NOx脱除指标分别为90%和70%，后根据波兰的现行法规改为70%和80%，由于建造经费不能及时到位，进程比较缓慢，直到2001年建成运行。1995年9月，我国政府与日本荏原公司签订关于在成都电厂实施电子束脱硫工业示范工程（中国EBA项目）项目协议书和实施合同。成都示范工程于1996年3月开始正式实施，1997年5月完成工程建设，同年7月全系统通过72小时连续运行。1998年产5月28日通过国家竣工验收鉴定,各项指标均达到或超过设计要求同。成都示范工程的圆满成功标志着电子束烟气治理技术正式进入工业应用阶段。