（1）辐照剂量的影响
清除率随辐照剂量的增加而提高；同时，要获得较高的清除率，所需辐照剂量应在1Mrad以上。
（2）气体温度的影响
随着气体温度的降低，清除率将会提高。对于NOx来说，最佳处理温度在70℃左右。
（3）水分的影响
水分的存在对SO2和NOx的清除率的影响有些不同。在废气中不含水分时，几乎不能清除SO2，而当水分含量在0.26~8%时，SO2含量随剂量增加而迅速下降；再进一步增加剂量时，则SO2含量缓缓下降。亦即在1Mrad剂量以上，清除率变化甚小。在无水分存在时，NOx含量先随剂量增加而稍有下降，而后却随剂量增加而逐渐上升。而水分含量的变化，对NOx清除率的影响较对SO2为明显。
（4）注入氨量的影响
注氨后辐照可以提高SO2和NOx的清除率，同时能降低所需的电子束剂量。
