电感耦合等离子发射光谱仪，是指以电感耦合等离子体作为激发光源，根据处于激发态的待测元素原子回到基态时发射的特征谱线对待测元素进行分析的仪器。待测元素原子的能级结构不同，因此发射谱线的特征不同，据此可对样品进行定性分析；而待测元素原子的浓度不同，因此发射强度不同，可实现元素的定量测定。ICP-AES可同时测定周期表中多数元素（金属元素及磷、硅、砷、硼等非金属元素），且均有较好的检出限。根据基体特性和浓度，精密度一般优于4%。检测器线性范围可达到4〜5个数M级。由于氢氟酸会腐蚀玻璃进样系统，所以在样品测定时必须保证待测液中不含氟离子或者使用耐氢气酸的进样系统。

由于高盐分会带来盐效应，一般要求待测液含盐M（TDS）不超过1%，超过时需使用高盐雾化器，最高不超过4%，若盐分组成为碱金属的盐则耐受能力更低。由于土壤样品基体比较复杂会产生基体效应导致检测能力降低，误差加大，测定时可采用内标法、基体匹配法、标准加人法，也可以使用化学分离和加入抑制剂的方法降低基体的干扰。