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此外,还可以利用平晶、激光干涉仪及其直线度测量附件测量直线度误差,测量精确度很高。后者的测量精确度可达0.4微米/1000毫米。
很多机床厂都用激光干涉仪来测直线度,平面度,垂直度等等。2100433B