有的热处理还离不开清洗干燥工序，尤其需油冷的各类热处理，清洗干燥的任务更繁重、难度也更大。国际上使用效果最佳的清洗剂是卤素系清洗剂。发达国家，如日本使用的卤素系清洗剂的比例如表1所示。其中三氯乙烷、氟里昂因属破坏大气臭氧层物质，已被禁止使用。其他卤素系物质也因对生态环境、人、畜有害而被限制使用。所以各国都在研究各种替代型的清洗干燥技术。真空水系清洗干燥技术是替代技术中发展的主流，其原理是水蒸气蒸馏和真空蒸馏。所谓水蒸气蒸馏是指一边向带有不溶于水的油类等物质的工件上吹水蒸气，一边加热，是把油分等挥发成分和水一齐蒸馏出的方法。应用该法时，油等挥发成分的蒸气随水蒸气同时发生，所以油分的沸点被降低。这就是用共沸的方法使油分和填加剂形成低沸点物质，使在回火温度以下的较低温度的洗净成为可能。所谓真空蒸馏是因为，在常压下进行水蒸气蒸馏时，油分的蒸汽压很低，伴随水蒸气而挥发的油分量很少。如果在真空状态下进行蒸气蒸馏，油分的沸点会被进一步降低。同时利用水蒸气蒸馏和真空蒸馏，就可将高沸点热处理淬火油在回火温度下被清洗并干燥了。这种方法适合在大、中型企业和大批量生产的流水线上使用，效率比较高。缺点是清洗液的回收和处理及循环使用的成本高。

真空油系清洗干燥技术，是指用蒸汽压比较高的轻质溶剂油去溶解和洗净工件上附着的蒸汽压化较低的切削油、冲压油、淬火油；然后再加热减压将溶剂油蒸发分离，从而达到洗净的目的。选择药溶剂油燃点应尽量高，粘度要低，对被清洗工件上附着的油脂有较强的溶解能力；对工件无腐蚀，且成本较低。我国国家标准中介绍的190号和20O号溶剂油可作为选择时的参考。简单说就是在真状态下淬火,处理后表面很好,无氧化.2100433B