真空电容器的失效模式一般表现在如下几个方面：
(1)漏气：漏气后，陶瓷真空电容器内外压力平衡，活动轴在波纹管的张力作用下向上凸起，用手可以上下移动活动轴。
(2)内部打火：在瞬间的异常高压下，电容内部耐压薄弱点发生击穿，造成不可恢复的损伤。
(3)绝缘瓷体裂纹：在过大的机械应力、异常高温、环境温度的急剧变化等情况下很容易发生。
(4)局部过热：主要是异常的高频电流引起。
(5)内部电极变形：同心圆电极组在制造和使用过程中均有可能造成铜板变形。
(6)耐压降低：由于环境应力、过载工作、使用不当或长期存放等原因引起真空度降低。电容器在使用初期功率较低时正常，功率增大或加调幅后出现过荷、打火。
(7)两组电极短路：由于内部打火，造成固定电极组和动电极组变形短路。
(8)个别频点不能稳定工作：在很窄的频段内不能稳定工作，其余工作频段均能稳定工作。
(9)传动丝扣滑丝：传动杆丝扣(包括螺母丝扣)局部滑丝。
(10)使用不当：真空电容器本身正常，由于安装不正确或起始容量值设置不对以及人工调谐、调载操作不熟练等原因引起。
(1)机械应力与蠕变：真空电容器内部击穿电压的大小，主要取决于电容极板问空隙大小。由于电极是由铜板退火而制成的，所以变得很软，再加上两极间的距离通常只有几个mm，所以意外的磕碰、撞击、摔落等都有可能引起内部形变，造成不可修复的损伤，轻者耐压减低，重者可能造成陶瓷破裂，电容漏气而报废。
(2)波纹管疲劳：由于波纹管承受一定的应力，并不停地作往返运动，容易产生金属疲劳而漏气。应力越大、反复运动次数越多，疲劳速度越快。金属的疲劳在后期具有突发性，容易导致突发性真空电容失效。
(3)冷却不足：陶瓷真空电容器的冷却方式有自然对流冷却、强迫空气冷却和循环水冷却三种。电容器的正常工作电流是在保证正常的冷却条件下实现的，一旦冷却效率降低或冷却不均匀，电容器就会因过热而缩短寿命。
(4)外部打火：特别是陶瓷与金属(可伐)封接处的打火，容易造成漏气。
(5)润滑缺失：真空可变电容器在高温下工作，润滑油脂容易失效，造成传动螺杆的螺纹过度磨损而滑丝。
(6)环境应力：在温度、湿度、灰尘、有害气体、微生物等环境因素的综合影响下，电容器的外壳金属部分容易锈蚀，尤其是淘瓷与金属(可伐)焊缝薄弱部分的锈蚀，易造成器件的慢性漏气。同时，由于电容器内部除气不彻底，还会在贮存过程中缓慢释放气体，使器件内真空度降低。 2100433B
