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《硅片局部平整度非接触式标准测试方法(GB/T 19922-2005)》由全国有色金属标准化技术委员会归口。本标准起草单位:洛阳单晶硅有限责任公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。本标准试验验证单位:北京有色金属研究总院。本标准主要起草人:史舸、蒋建国、陈兴邦、贺东江、王文、邓德翼。本标准由全国有色金属标准化技术委员会负责解释。本标准为首次发布。2100433B