如图《硅粒处理装置》所示，可以通过低成本的设备高效地分离排出液中的硅粒，再用作单晶硅锭的制备原料。
具有从由硅锭加工装置排出的含有硅粒的排出液中回收硅粒的回收装置（12）；储存向硅粒中混合酸将杂质溶解而得到的溶解混合液的混合液罐（1）；经由供给通路（8）和返回通路（10）与混合液罐（1）连接、在滤布上形成硅粒的滤饼而进行过滤的滤布式过滤机（2）；向混合液罐（1）中供给纯水的纯水供给设备（49）；可将向滤布的过滤面一侧供给加压空气、将硅粒的滤饼脱水的操作，和向滤布的过滤面相反一侧供给加压空气、使脱水的滤饼脱落并取出的操作切换进行的加压空气供给设备（34），可高效地分离并回收除去了杂质的单晶硅粒。
设置从含有硅粒的排出液中回收硅粒的回收设备、储存溶解混合液的混合液罐、导入该混合液罐中的溶解混合液进行过滤的滤布式过滤机。上述排出液是在用硅锭加工装置加工单晶硅锭形成硅块时所排出的，上述溶解混合液是向由上述回收设备回收的淤浆状硅粒中混合酸、使杂质溶解而成的。
首先，将混合液罐中的溶解混合液供给滤布式过滤机，开始过滤，此时的滤液返回至上述混合液罐中循环。
如果在上述滤布式过滤机的滤布上形成了所需厚度的滤饼，则滤液不返回上述混合液罐而流经排出通路进行过滤。
上述溶解混合液的过滤结束后，向滤布式过滤机的滤布过滤面一侧供给加压空气，由此将在滤布上形成的滤饼脱水，接着向混合液罐供给纯水，通过将该混合液罐的纯水供给上述滤布式过滤机，清洗上述滤布上的滤饼。
接着向滤布式过滤机的滤布过滤面一侧供给加压空气，由此将滤布上的滤饼脱水。
接着，向滤布式过滤机的滤布过滤面相反一侧供给加压空气，使滤布上的滤饼脱落，由此获得单晶硅粒。
