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离子束辐照装置技术指标

2022/07/16111 作者：佚名
导读：1、极限真空度：≤6.67*10-5Pa(经烘烤以后)2、系统真空检漏漏率：：≤5.0*10-7Pa.L/S 3、系统经大气抽气，40分钟可达到6.6*10-4Pa4、停泵关机12小时后真空度：≤5Pa。

1、极限真空度：≤6.67*10-5Pa(经烘烤以后)2、系统真空检漏漏率：：≤5.0*10-7Pa.L/S 3、系统经大气抽气，40分钟可达到6.6*10-4Pa4、停泵关机12小时后真空度：≤5Pa。

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